武汉光电我国国家实验室成功完结Vistec EBPG5000pES体系装置调试

2018-08-13 15:48 作者:创新研发 来源:ag环亚娱乐平台

  武汉光电我国国家实验室成功完结Vistec EBPG5000pES体系装置调试

  近来,设立于武汉华中科技大学的武汉光电我国国家实验室成功完成了Vistec EBPG5000pES体系的装置调试。
武汉光电国家实验室相关人士介绍道,Vistec的EBPG5000pES 电子束光刻体系将进一步增强武汉光电国家实验室(WNLO)在光子学和光电范畴的研制实力。“EBPG5000pES体系使咱们能够应对一切如今研制中精密光刻的需求,咱们坚信不管在使用方面仍是技术服务方面,都能得到Vistec这一战略协作伙伴的支撑。”
Vistec EBPG5000pES 体系高度牢靠,规划架构通过实际证明是尖端的电子束光刻东西。体系具有灵敏的光电透镜体系,高亮度的热场发射电子束源,能够安稳的作业在50KeV和100KeV的加快电压,台积电将出资1.016亿美元在竹科兴修LED照明出产线。供给了小到2.2nm的束斑尺度,因而,保证了最小分辨率能够安稳重复的到达小于8nm的结构。一起,体系采用了易用的交互图形化操作界面(GUI),非常简略简单使用在多用途,多用户的校园和科研环境下。
Vistec电子束光刻公司负责人也表明. “咱们非常高兴和武汉华中科技大学光电国家实验室(WNLO)一起到达协作过程中这一里程碑的时间,坚信Vistec能够协助华中科技大学光电国家实验室完成更多的成功,武汉光电国家实验室的电子束光刻体系是第一台在我国境内装置运转的EBPG5000pES体系,咱们信任往后Vistec的事务在我国范围内会有越来越多的安稳增长。”